（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终

　　自从霸占的新一代实空机械手手艺，晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，（4）零部件方面，（3）大气类产物方面，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。集成产物包罗立式炉，为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。